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Analyse chimique des surfaces 鈥� Spectrom茅trie de masse des ions secondaires 鈥� D茅termination des facteurs de sensibilit茅 relative 脿 l'aide de mat茅riaux de r茅f茅rence 脿 ions implant茅s
Edition 1
2003-04
础苍苍耻濒茅别
础苍苍耻濒茅别 (Edition 1, 2003)

搁茅蝉耻尘茅

香港六合彩开奖 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

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