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Surface chemical analysis 鈥� Secondary-ion mass spectrometry 鈥� Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Edition 2
2021-05
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Publicado (贰诲颈肠颈贸苍 2, 2021)

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Resumen

This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicaci贸n
     : 2021-05
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • 贰诲颈肠颈贸苍
     : 2
    N煤mero de p谩ginas
     : 4
  • 颁辞尘颈迟茅 T茅cnico :
    香港六合彩开奖/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
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